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  • 深圳市路維光電股份有限公司

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      中小尺寸光罩

      主要應用領域: 1.IC/IC bumping用掩模版; 2.MEMS、LED、分立器件用掩模版; 3.光器件、光通訊用掩模版。

      1. 詳細信息

      鉻版精度(Standard Size:6inch Quartz)

      精度/級別

      最高精度

      高精度

      中精度

      一般精度

      最小線寬/線縫

      0.75μm/0.75μm

      3μm/3μm

      5μm/5μm

      10μm/10μm

      線條精度

      ±0.05μm

      ±0.3μm

      ±0.5μm

      ±1.0μm

      總長精度

      ±0.25μm

      ±0.5μm

      ±0.75μm

      ±1.0μm

      圖形位置精度

      ±0.07μm

      ±0.5μm

      ±0.75μm

      ±1.0μm

      套合精度

      ±0.25μm

      ±0.5μm

      ±0.75μm

      ±1.0μm

       

      鉻版材料 (Photomask blank phate)

      材料

      Soda Lime Glass、Quartz

      常規尺寸

      3006,4009,5009,6012,6025,7012,9012,12"x12",14"x14"

      厚度

      1.5±0.2mm,2.3±0.2mm ,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm

      6.35±0.2mm (QZ)

      鉻膜

      Low Reflectance Chrome

      光學密度 (λ=450nm)

      Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3

      反射率 (λ=436nm)

      Between Plates10±5% In Plate±2%

       


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